Säitebanner

Neiegkeeten

D'Bedeitung vu Päifleitungen mat héijer Rengheet fir Halbleiter

As Halbleiteran d'Entwécklung vu mikroelektroneschen Technologien a Richtung vun enger méi héijer Leeschtung an enger méi héijer Integratioun, ginn et méi héich Ufuerderungen un d'Rengheet vun elektronesche Spezialgaser. D'Technologie vun héichreine Gasleitungen ass e wichtegen Deel vum Gasversuergungssystem mat héijer Rengheet. Et ass déi Schlësseltechnologie fir d'Liwwerung vun héichreine Gaser, déi d'Ufuerderungen un d'Gasverbrauchspunkten erfëllen, wärend d'qualifizéiert Qualitéit behalen gëtt.

D'Technologie vu Päifleitungen mat héijer Rengheet ëmfaasst de richtegen Design vum System, d'Auswiel vu Päiffittings an Hëllefsmaterialien, de Bau, d'Installatioun an d'Tester.

01 Allgemengt Konzept vu Gastransportleitungen

All Gaser mat héijer Rengheet a Rengheet mussen iwwer Pipelinen op den Terminalgaspunkt transportéiert ginn. Fir d'Ufuerderunge vun der Prozessqualitéit fir Gas ze erfëllen, ass et, wann den Gasexportindex sécher ass, méi wichteg, op d'Materialauswiel an d'Konstruktiounsqualitéit vum Pipelinensystem opzepassen. Nieft der Genauegkeet vun der Gasproduktiouns- oder Reinigungsanlag gëtt se staark vun enger Rei vu Faktoren vum Pipelinensystem beaflosst. Dofir muss d'Auswiel vu Päifen de relevante Prinzipie vun der Reinigungsindustrie respektéieren an d'Material vun de Päifen an de Zeechnunge markéiert ginn.

02D'Bedeitung vu Pipelinen mat héijer Rengheet beim Gastransport

D'Bedeitung vu Pipelines mat héijer Rengheet beim Transport vu Gas mat héijer Rengheet Wärend dem Schmëlzprozess vun Edelstol kann all Tonne ongeféier 200 g Gas absorbéieren. Nodeems den Edelstol veraarbecht gouf, hänken net nëmmen verschidde Schadstoffer op senger Uewerfläch fest, mä och eng gewësse Quantitéit u Gas gëtt a sengem Metallgitter absorbéiert. Wann e Loftstroum duerch d'Pipeline fléisst, trëtt den Deel vum Gas, deen vum Metall absorbéiert gouf, erëm an de Loftstroum an a verschmotzt dat rengt Gas.

Wann de Loftstroum am Rouer ënnerbrach ass, bildt d'Rouer eng Drockadsorptioun op dat duerchfléissend Gas. Wann de Loftstroum ophält ze passéieren, bildt dat vum Rouer adsorbéiert Gas eng Drockreduktiounsanalyse, an dat analyséiert Gas kënnt och als Ongereinheet an dat rengt Gas am Rouer.

Gläichzäiteg wäert den Adsorptiouns- an Analysezyklus dozou féieren, datt de Metall op der bannenzeger Uewerfläch vum Rouer eng gewëssen Quantitéit u Pulver produzéiert. Dëst Metallstaubpartikel verschmotzt och dat rengt Gas am Rouer. Dës Charakteristik vum Rouer ass ganz wichteg. Fir d'Rengheet vum transportéierte Gas ze garantéieren, ass et net nëmmen néideg, datt déi bannenzeg Uewerfläch vum Rouer eng extrem héich Gläichheet huet, mä och eng héich Verschleissbeständegkeet.

Wann d'Gas staark korrosiv Eegeschafte huet, musse korrosiounsbeständeg Edelstahlréier fir d'Päifleitungen benotzt ginn. Soss entstinn duerch Korrosioun Korrosiounsflecken op der bannenzeger Uewerfläch vum Réier. A schwéiere Fäll kënne grouss Metallstécker ofblätteren oder souguer duerchbriechen, wouduerch dat transportéiert rengt Gas kontaminéiert gëtt.

03 Päifmaterial

D'Materialauswiel vum Päif muss no de Bedierfnesser vum Gebrauch ausgewielt ginn. D'Qualitéit vum Päif gëtt allgemeng un der Rauheet vun der bannenzeger Uewerfläch vum Päif gemooss. Wat méi niddreg d'Rauheet ass, wat manner wahrscheinlech ass et, datt et Partikelen enthält. Allgemeng an dräi Zorten opgedeelt:

Een assEP Grad 316L Päif, déi elektrolytesch poléiert gouf (Elektropoléierung). Et ass korrosiounsbeständeg an huet eng niddreg Uewerflächenrauheet. Rmax (maximal Héicht vum Peak bis zum Dall) ass ongeféier 0,3 μm oder manner. Et huet déi héchst Flaachheet a bildt net einfach Mikrowirbelstréim. Entfernt kontaminéiert Partikelen. De Reaktiounsgas, deen am Prozess benotzt gëtt, soll op dësem Niveau geleet ginn.

Een ass enBA-Klass 316LPäif, déi mat Bright Anneal behandelt gouf a gëtt dacks fir Gaser benotzt, déi a Kontakt mam Chip sinn, awer net un der Prozessreaktioun deelhuelen, wéi GN2 an CDA. Eng ass AP-Päif (Annealing & Picking), déi net speziell behandelt gëtt a generell fir duebel Sätz vun äusseren Päifen benotzt gëtt, déi net als Gasversuergungsleitungen benotzt ginn.

„1705977660566“

04 Bau vun der Pipeline

D'Veraarbechtung vum Päifenmond ass ee vun de Schlësselpunkte vun dëser Konstruktiounstechnologie. D'Ausschneiden an d'Virfabrikatioun vun der Päif ginn an enger propperer Ëmwelt duerchgefouert, an zur selwechter Zäit gëtt séchergestallt, datt et keng schiedlech Marken oder Schied op der Uewerfläch vun der Päif virum Ausschneiden gëtt. Virbereedunge fir d'Stickstoffspülung an der Päif solle gemaach ginn, ier d'Päif opgemaach gëtt. Am Prinzip gëtt Schweessen benotzt fir d'Gasiwwerdroungs- a Verdeelungsleitungen mat héijer Rengheet an héijer Rengheet mat groussem Duerchfluss ze verbannen, awer direkt Schweessen ass net erlaabt. Gehäuseverbindunge solle benotzt ginn, an d'Päifmaterial, dat benotzt gëtt, däerf sech beim Schweessen net an der Struktur änneren. Wann e Material mat ze héijem Kuelestoffgehalt geschweesst gëtt, féiert d'Loftduerchlässegkeet vum Schweessdeel dozou, datt d'Gas bannen an ausserhalb vum Päif sech géigesäiteg andréngen, wouduerch d'Rengheet, d'Dréchent an d'Sauberkeet vum Transportgas zerstéiert ginn, wat zu eeschte Konsequenze féiert an d'Produktiounsqualitéit beaflosst.

Zesummegefaasst, fir Pipelines fir héichrein Gas a speziell Gastransmissiounen, muss e speziell behandelt héichreine Stolrohr benotzt ginn, wouduerch dat héichreine Pipelinesystem (inklusiv Pipelines, Réierfittings, Ventiler, VMB, VMP) eng wichteg Aufgab an der Verdeelung vu héichreinem Gas huet.


Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 26. November 2024