1. Bulk Gas System Definitioun:
Lagerung an Drockkontrolle vun Inertgasen Gastypen: Typesch Inertgase (Stickstoff, Argon, kompriméiert Loft, asw.)
Pipeline Gréisst: Vun 1/4 (Iwwerwaachungspipeline) bis 12-Zoll Haaptpipeline
D'Haaptprodukter vum System sinn: Membranventil / Balgenventil / Kugelventil, High-Purity Connector (VCR, Schweessform), Ferrule Connector, Drockreguléierungsventil, Drockmeter, etc.
Am Moment enthält den neie System och e Bulk-Spezialgas-System, deen fixe Gasfläschen oder Tank Camionen fir Lagerung an Transport benotzt.
2. Purification System Definitioun:
Ewechhuele vun Gëftstoffer aus Bulk Gase fir héich Rengheet Gas Pipelines
3. Gas Cabinets Definitioun:
Bitt Drockkontrolle a Flow Iwwerwaachung fir speziell Gasquellen (gëfteg, brennbar, reaktiv, korrosiv Gase), an hunn d'Fäegkeet Gasfläschen z'ersetzen.
Standuert: Läit op der Sub-Fab Stack oder ënnen Stack fir Stockage vun speziell Gase Quell: NF3, SF6, WF6, etc.
Pipeline Gréisst: Intern Gas Pipeline, allgemeng 1/4 Zoll fir Prozess Pipeline, 1/4-3/8 Zoll haaptsächlech fir héich Rengheet Stéckstoff purge Pipeline.
Haaptprodukter: Membranventile mat héijer Rengheet, Kontrollventile, Drockmoossnamen, Drockmauer, High Purity Connectoren (VCR, Schweessform) Dës Gaskabinetten enthalen am Fong automatesch Schaltfäegkeeten fir Zylinder fir kontinuéierlech Gasversuergung a sécher Ersatz vun Zylinder ze garantéieren.
4. Verdeelung Definitioun:
D'Gasquelle an d'Gassammlungsspiral verbannen
Linn Gréisst: An der Chip Fabréck rangéiert d'Gréisst vun der Bulk Gas Verdeelung Pipeline allgemeng vun 1/2 Zoll bis 2 Zoll.
Verbindungsform: Besonnesch Gasleitungen ginn allgemeng duerch Schweißen verbonnen, ouni mechanesch Verbindung oder aner bewegt Deeler, haaptsächlech well d'Schweißverbindung eng staark Dichtungszouverlässegkeet huet.
An enger Chipfabrik sinn et Honnerte vu Kilometer Réier verbonne fir Gas ze vermëttelen, déi am Fong ongeféier 20 Féiss laang sinn a matenee geschweest ginn. E puer Réierbéien a Réierschweißverbindunge sinn och ganz heefeg.
5. Multi-Funktioun Ventilbox (Valve Manifold Box, VMB) Definitioun:
Et ass fir speziell Gase vun der Gasquell op verschidden Ausrüstungsendungen ze verdeelen.
Intern Pipeline Gréisst: 1/4 Zoll Prozess Pipeline, an 1/4 - 3/8 Zoll Purge Pipeline. De System kann Computersteuerung benotze fir ageschalt Ventile ze erfuerderen oder manner Käschte Situatiounen mat manuelle Ventile.
Systemprodukter: Membranventile mat héijer Rengheet / Balgenventile, Kontrollventile, Gelenker mat héijer Rengheet (VCR, Mikroschweißform), Drockreguléierungsventile, Drockmoossnamen an Drockmoossnamen, etc.. Fir d'Verdeelung vun e puer Inertgase gëtt de Ventil Manifold Panel - VMP (Multi-Funktioun Krunn disc) haaptsächlech benotzt, déi eng oppe Gas disc Uewerfläch huet an net eng zougemaach Raum Design an zousätzlech Stéckstoff purge verlaangen.
6. Sekundär Ventilplack / Këscht (Tool Hookup Panel) Definitioun:
Connect de Gas néideg vun der semiconductor Ausrüstung vun der Gas Quell un der Equipement Enn an déi entspriechend Drock Regulatioun. Dëse Panel ass e Gaskontrollsystem dee méi no beim Ausrüstungsend ass wéi de VMB (Multi-Funktioun Ventilbox).
Gas Pipeline Gréisst: 1/4 - 3/8 Zoll
Flësseg Pipeline Gréisst: 1/2 - 1 Zoll
Offlossquantitéit Pipeline Gréisst: 1/2 - 1 Zoll
Haaptprodukter: Membranventil / Balgenventil, One-Wee-Ventil, Drockreguléierungsventil, Drockmeter, Drockmeter, High-Purity Joint (VCR, Mikro-Schweißen), Ferrule Gelenk, Kugelventil, Schlauch, etc.
Post Zäit: Nov-22-2024