Den 909 Project Very Large Scale Integrated Circuit Factory ass e grousse Bauprojet vun der Elektronikindustrie vu mengem Land wärend dem néngten Fënnef Joer Plang fir Chips mat enger Linnbreed vun 0,18 Mikron an engem Duerchmiesser vun 200 mm ze produzéieren.
D'Fabrikatiounstechnologie vu ganz grousser integréierte Circuits implizéiert net nëmmen héichpräzis Technologien wéi Mikro-Maschinn, awer stellt och héich Ufuerderungen un d'Gasreinheet.
D'Massgasversuergung fir Project 909 gëtt vun engem Joint Venture tëscht Praxair Utility Gas Co., Ltd. vun den USA an zoustännege Parteien zu Shanghai geliwwert fir zesummen eng Gasproduktiounsanlag ze grënnen. Gebai, déi eng Fläch vu ronn 15.000 Quadratmeter iwwerdeckt. D'Rengheet an Ausgangsfuerderunge vu verschiddene Gase
High-purity Stickstoff (PN2), Stickstoff (N2), an High-Purity Sauerstoff (PO2) ginn duerch Lofttrennung produzéiert. Héichreng Waasserstoff (PH2) gëtt duerch Elektrolyse produzéiert. Argon (Ar) an Helium (Hien) kaaft outsourced. De Quasi-Gas gëtt gereinegt a gefiltert fir ze benotzen am Projet 909. Besonnesch Gas gëtt a Flaschen geliwwert, an d'Gasflaschenkabinett ass am Auxiliary Workshop vun der integréierter Circuitproduktiounsanlag.
Aner Gase och propper dréchen kompriméiert Loft CDA System, mat engem Benotzen Volume vun 4185m3 / h, engem Drock Taupunkt vun -70 ° C, an enger Partikelgréisst vun net méi wéi 0,01um am Gas um Punkt vun benotzen. Atmung kompriméiert Loft (BA) System, Verbrauchsvolumen 90m3/h, Drocktaupunkt 2℃, Partikelgréisst am Gas um Gebrauchspunkt ass net méi wéi 0,3um, Prozessvakuum (PV) System, Verbrauchsvolumen 582m3/h, Vakuumgrad um Gebrauchspunkt -79993Pa. Botzen Vakuum (HV) System, Benotzen Volume 1440m3 / h, Vakuum Grad um Gebrauch Punkt -59995 Pa.. D'Loft Kompressor Sall an Vakuum Pompel Sall sinn souwuel am 909 Projet Fabréck Beräich läit.
Auswiel vun Päif Material an Accessoiren
De Gas, deen an der VLSI Produktioun benotzt gëtt, huet extrem héich Propretéit Ufuerderunge.Héichreng Gasleitungenginn normalerweis an propper Produktioun Ëmfeld benotzt, an hir Propretéit Kontroll soll konsequent mat oder méi héich wéi der Propretéit Niveau vum Raum am Gebrauch sinn! Zousätzlech ginn héich-Rengheet Gasleitungen dacks a propperem Produktiounsëmfeld benotzt. Pure Waasserstoff (PH2), Sauerstoff mat héijer Rengheet (PO2) an e puer speziell Gase si brennbar, explosiv, verbrennungsstützend oder gëfteg Gase. Wann de Gasleitungssystem falsch entworf ass oder d'Materialien falsch ausgewielt ginn, wäert net nëmmen d'Rengheet vum Gas, deen um Gaspunkt benotzt gëtt, erofgoen, awer et wäert och feelen. Et entsprécht de Prozessfuerderunge, awer et ass onsécher ze benotzen a wäert d'Verschmotzung vun der propperer Fabréck verursaachen, wat d'Sécherheet an d'Propperheet vun der propperer Fabréck beaflosst.
D'Garantie vun der Qualitéit vum héich-Rengheetsgas am Punkt vum Gebrauch hänkt net nëmmen vun der Genauegkeet vun der Gasproduktioun, der Reinigungsausrüstung a Filter of, mee ass och zu engem groussen Deel vu ville Faktoren am Pipeline-System beaflosst. Wa mir op Gasproduktiounsausrüstung, Reinigungsausrüstung a Filtere vertrauen Et ass einfach falsch fir onendlech méi héich Präzisiounsufuerderungen opzesetzen fir de falsche Gasleitungssystem Design oder Materialauswiel ze kompenséieren.
Wärend dem Designprozess vum 909-Projet hu mir de "Code fir Design vu propperem Planzen" GBJ73-84 gefollegt (den aktuelle Standard ass (GB50073-2001)), "Code fir Design vu Compressed Air Stations" GBJ29-90, "Code fir Design vun Sauerstoff Statiounen "GB50030-91, "Code fir Design vun Wasserstoff a Sauerstoff Statiounen" GB50177-93, an relevant technesch Moossname fir d'Auswiel vun Pipeline Materialien an Accessoiren. "Code fir Design vu propperem Planzen" stellt d'Auswiel vu Pipelinematerialien a Ventile fest:
(1) Wann d'Gasreinheet méi wéi oder gläich wéi 99,999% ass an den Taupunkt manner wéi -76°C ass, 00Cr17Ni12Mo2Ti niddereg-Kuelestoff Edelstahl Päif (316L) mat elektropoléierter banneschten Mauer oder OCr18Ni9 Edelstol Päif (304) mat elektropoléiert banneschten Mauer soll benotzt ginn. De Ventil soll e Membranventil oder Balgventil sinn.
(2) Wann d'Gasreinheet méi grouss ass wéi oder gläich wéi 99,99% an den Taupunkt manner wéi -60 ° C ass, sollt OCr18Ni9 Edelstahlröhre (304) mat elektropoléierter banneschten Mauer benotzt ginn. Ausser Bälgventile, déi fir brennbare Gasleitungen solle benotzt ginn, solle Kugelventile fir aner Gasleitungen benotzt ginn.
(3) Wann den Taupunkt vun der dréchener kompriméierter Loft manner wéi -70 ° C ass, soll OCr18Ni9 Edelstahl Päif (304) mat poléierte banneschten Mauer benotzt ginn. Wann den Taupunkt manner wéi -40 ℃ ass, soll OCr18Ni9 Edelstahl Päif (304) oder waarm galvaniséierte nahtlos Stahl Päif benotzt ginn. De Ventil soll e Balgventil oder e Kugelventil sinn.
(4) D'Ventilmaterial soll mat dem Verbindungsleitmaterial kompatibel sinn.
Geméiss den Ufuerderunge vun de Spezifikatioune a relevant technesche Moossnamen, betruechte mir haaptsächlech déi folgend Aspekter bei der Auswiel vun Pipelinematerialien:
(1) D'Loftpermeabilitéit vu Päifmaterial soll kleng sinn. Pipes vu verschiddene Materialien hunn ënnerschiddlech Loftpermeabilitéit. Wann Päifen mat méi grousser Loftpermeabilitéit ausgewielt ginn, kann d'Verschmotzung net ewechgeholl ginn. Edelstahlleitungen a Kupferleitungen si besser fir d'Penetratioun an d'Korrosioun vu Sauerstoff an der Atmosphär ze verhënneren. Wéi och ëmmer, well Edelstahlleitungen manner aktiv si wéi Kupferleitungen, sinn Kupferleitungen méi aktiv fir datt d'Feuchtigkeit an der Atmosphär an hir bannescht Flächen penetréiert. Dofir, wann Dir Päifen fir High-Purity Gasleitungen auswielt, sollten Edelstahlleitungen déi éischt Wiel sinn.
(2) Déi bannescht Uewerfläch vum Päifmaterial gëtt adsorbéiert an huet e klengen Effekt op d'Analyse vum Gas. Nodeems d'Edelstahl-Päif veraarbecht ass, gëtt eng gewësse Quantitéit Gas a sengem Metallgitter behalen. Wann héich Rengheet Gas passéiert, wäert dësen Deel vum Gas an d'Loftfloss kommen an d'Verschmotzung verursaachen. Zur selwechter Zäit, wéinst der Adsorptioun an der Analyse, wäert d'Metall op der banneschten Uewerfläch vum Päif och e gewësse Betrag vu Pulver produzéieren, wat d'Verschmotzung vum héichreinege Gas verursaacht. Fir Päifsystemer mat Rengheet iwwer 99,999% oder ppb Niveau, soll 00Cr17Ni12Mo2Ti niddereg Kuelestoff STAINLESS Stol Päif (316L) benotzt ginn.
(3) D'Verschleißbeständegkeet vun Edelstahlleitungen ass besser wéi déi vu Kupferleitungen, an de Metallstaub, deen duerch d'Loftstroumerosioun generéiert gëtt, ass relativ manner. Produktioun Workshops mat méi héich Ufuerderunge fir Propretéit kann 00Cr17Ni12Mo2Ti niddereg Kuelestoff Edelstahl Päifen (316L) oder OCr18Ni9 Edelstahl Päifen (304) benotzen, Koffer Päifen sollen net benotzt ginn.
(4) Fir Pipesystemer mat Gasreinheet iwwer 99,999% oder ppb oder ppt Niveauen, oder a propperem Zëmmer mat Loftreinigkeetsniveauen vun N1-N6 spezifizéiert am "Clean Factory Design Code", ultra-propper Päifen oderEP ultra-propper Päifensoll benotzt ginn. Propper "propper Rouer mat ultra-glat banneschten Uewerfläch".
(5) E puer vun de spezielle Gasleitungssystemer, déi am Produktiounsprozess benotzt ginn, sinn héich korrosiv Gase. D'Päifen an dëse Pipeline Systemer mussen korrosionsbeständeg Edelstahlleitungen als Päifen benotzen. Soss ginn d'Päifen duerch Korrosioun beschiedegt. Wann Korrosiounsflecken op der Uewerfläch optrieden, däerfen net gewéinlech nahtlos Stahlleitungen oder galvaniséierte verschweißte Stahlleitungen net benotzt ginn.
(6) Am Prinzip sollen all Gasleitungsverbindunge geschweest ginn. Zënter Schweißen vu galvaniséierte Stahlleitungen déi galvaniséierter Schicht zerstéieren, gi galvaniséierte Stahlleitungen net fir Päifen a propperem Zëmmer benotzt.
Wann Dir déi uewe genannte Faktoren berécksiichtegt, sinn d'Gaspipelineleitungen a Ventile, déi am &7& Projet ausgewielt goufen, wéi follegt:
D'High-Purity Stickstoff (PN2) Systemleitungen sinn aus 00Cr17Ni12Mo2Ti Low-carbon Edelstahl Päifen (316L) mat elektropoléierte banneschten Maueren, an d'Ventile sinn aus Edelstahl Balgventile vum selwechte Material gemaach.
D'Stickstoff (N2) Systemleitungen sinn aus 00Cr17Ni12Mo2Ti niddereg-Kuelestoff Edelstahl-Päifen (316L) mat elektropoléierte banneschten Maueren, an d'Ventile sinn aus Edelstahl-Bagelventile vum selwechte Material gemaach.
D'High-Purity Wasserstoff (PH2) System Päifen sinn aus 00Cr17Ni12Mo2Ti niddereg-Kuelestoff STAINLESS Stol Päifen (316L) mat electropolished bannen Maueren gemaach, an d'Ventile sinn aus STAINLESS Stol Bellow Ventile vum selwechte Material gemaach.
D'High-Purity Sauerstoff (PO2) Systemleitungen sinn aus 00Cr17Ni12Mo2Ti Low-carbon Edelstahl Päifen (316L) mat elektropoléierte banneschten Maueren, an d'Ventile sinn aus Edelstahl Balgventile vum selwechte Material gemaach.
Argon (Ar) System Päifen sinn aus 00Cr17Ni12Mo2Ti niddereg-Kuelestoff STAINLESS Stol Päifen (316L) mat electropolished bannen Maueren gemaach, an STAINLESS Stol Bellow Ventile vum selwechte Material benotzt.
D'Helium (He) Systemleitungen sinn aus 00Cr17Ni12Mo2Ti Low-Carbon Edelstahl Päifen (316L) mat elektropoléierte banneschten Maueren, an d'Ventile sinn aus Edelstahl Balgventile vum selwechte Material gemaach.
Déi propper dréchen kompriméiert Loft (CDA) Systemleitungen sinn aus OCr18Ni9 Edelstahlleitungen (304) mat poléierte banneschten Maueren gemaach, an d'Ventile sinn aus Edelstahl Balgventile vum selwechte Material gemaach.
D'Atmung kompriméiert Loft (BA) Systemleitungen sinn aus OCr18Ni9 Edelstahlleitungen (304) mat poléierte banneschten Maueren, an d'Ventile sinn aus Edelstahl Kugelventile vum selwechte Material gemaach.
D'Prozess Vakuum (PV) Systemleitungen sinn aus UPVC Päifen, an d'Ventile sinn aus Vakuum Schmetterlingsventile gemaach aus dem selwechte Material.
D'Botzvakuum (HV) Systemleitungen sinn aus UPVC Päifen, an d'Ventile sinn aus Vakuum Schmetterlingsventile gemaach aus dem selwechte Material.
D'Päifen vum spezielle Gassystem sinn all aus 00Cr17Ni12Mo2Ti Low-Carbon Edelstahlleitungen (316L) mat elektropoléierte banneschten Maueren, an d'Ventile sinn aus Edelstahl-Bagelventile vum selwechte Material gemaach.
3 Bau an Installatioun vu Pipelines
3.1 Sektioun 8.3 vum "Clean Factory Building Design Code" stellt déi folgend Bestëmmunge fir Pipelineverbindungen fest:
(1) Päifverbindunge solle geschweest ginn, awer waarm galvaniséierte Stahlleitungen solle threaded ginn. D'Versiegelungsmaterial vu threaded Verbindunge sollen den Ufuerderunge vum Artikel 8.3.3 vun dëser Spezifizéierung entspriechen
(2) Edelstahlleitungen sollen duerch Argon-Arc-Schweißen an Hënnerschweißen oder Socket-Schweißen verbonne sinn, awer Gasleitungen mat héijer Rengheet solle mat Hënneschten Schweißen ouni Marken op der banneschten Mauer verbonne sinn.
(3) D'Verbindung tëscht Pipelines an Ausrüstung soll mat den Ufuerderunge vun der Verbindung vun der Ausrüstung entspriechen.
(4) D'Verbindung tëscht Pipelines a Ventile solle mat de folgende Reglementer entspriechen
① D'Versiegelungsmaterial, déi héichreineg Gasleitungen a Ventile verbënnt, sollten Metalldichtungen oder Duebelferruelen benotzen no den Ufuerderunge vum Produktiounsprozess a Gaseigenschaften.
②D'Dichtungsmaterial an der Schrauwen oder Flangeverbindung soll Polytetrafluorethylen sinn.
3.2 Laut den Ufuerderunge vun de Spezifikatioune a relevant technesche Moossnamen, soll d'Verbindung vu Gasleitungen mat héijer Rengheet esou vill wéi méiglech geschweest ginn. Direkt Hënneschten Schweess soll während Schweess verhënnert ginn. Pipe Ärmelen oder fäerdeg Gelenker solle benotzt ginn. D'Päifhülsen sollten aus dem selwechte Material a banneschten Uewerflächeglatheet wéi d'Päifen gemaach ginn. Niveau, während dem Schweißen, fir d'Oxidatioun vum Schweißdeel ze vermeiden, soll pure Schutzgas an d'Schweißleitung agefouert ginn. Fir Edelstahlleitungen sollt d'Argon Bogen Schweißen benotzt ginn, an d'Argongas vun der selwechter Rengheet soll an d'Päif agefouert ginn. Fuedem Verbindung oder threaded Verbindung muss benotzt ginn. Wann d'Flanges verbannen, sollten Hülsen fir threaded Verbindungen benotzt ginn. Ausser Sauerstoffleitungen a Waasserstoffleitungen, déi Metalldichtungen benotzen, sollten aner Päifen Polytetrafluorethylen-Dichtungen benotzen. Eng kleng Quantitéit Silikongummi op d'Dichtungen opdroen wäert och effektiv sinn. Verbessert d'Versiegelungseffekt. Ähnlech Moossname solle geholl ginn wann d'Flangeverbindunge gemaach ginn.
Virun der Installatiounsaarbecht ufänkt, eng detailléiert visuell Inspektioun vu Päifen,Armaturen, Ventile, etc. Déi bannenzeg Mauer vun gewéinleche Edelstahlleitungen solle virum Installatioun gepickt ginn. D'Päifen, Armaturen, Ventile, asw.
Ier de System installéiert an agesat gëtt, sollt d'Transmissiouns- a Verdeelungsleitungssystem komplett mat dem geliwwerte Gas mat héijer Rengheet geläscht ginn. Dëst bléist net nëmmen d'Staubspartikelen, déi zoufälleg an de System während dem Installatiounsprozess gefall sinn, mee spillt och eng Trocknungsroll am Pipeline-System, andeems en Deel vum Feuchtigkeithaltege Gas, deen duerch d'Päifmauer absorbéiert gëtt, a souguer d'Päifmaterial ewechgeholl gëtt.
4. Pipeline Drock Test an Akzeptanz
(1) Nodeems de System installéiert ass, gëtt 100% radiographesch Inspektioun vun de Päifen, déi héich gëfteg Flëssegkeeten a spezielle Gasleitungen transportéieren, duerchgefouert ginn, an hir Qualitéit däerf net manner wéi Niveau II sinn. Aner Päifen sollen d'Radiografesch Inspektioun probéieren, an de Probeinspektiounsverhältnis däerf net manner wéi 5% sinn, d'Qualitéit däerf net manner wéi Grad III sinn.
(2) Nodeems Dir déi net-zerstéierend Inspektioun passéiert, sollt en Drocktest duerchgefouert ginn. Fir d'Trockheet an d'Propperheet vum Pipesystem ze garantéieren, däerf en hydraulesche Drocktest net duerchgefouert ginn, awer e pneumateschen Drocktest soll benotzt ginn. De Loftdrocktest soll mat Stickstoff oder kompriméierter Loft duerchgefouert ginn, déi dem Propretéit vum propperem Raum entsprécht. Den Testdrock vun der Pipeline soll 1,15 Mol den Designdrock sinn, an den Testdrock vun der Vakuum Pipeline soll 0,2MPa sinn. Wärend dem Test soll den Drock graduell a lues eropgesat ginn. Wann den Drock op 50% vum Testdrock eropgeet, wa keng Abnormalitéit oder Leckage fonnt gëtt, fuert weider den Drock Schrëtt fir Schrëtt ëm 10% vum Testdrock erop, a stabiliséiert den Drock fir 3 Minutten op all Niveau bis den Testdrock . Stabiliséiert den Drock fir 10 Minutten, reduzéiert dann den Drock op den Designdrock. D'Drockstoppzäit soll no de Bedierfnesser vun der Leckdetektioun bestëmmt ginn. De Schaummëttel ass qualifizéiert wann et kee Leckage gëtt.
(3) Nodeems de Vakuumsystem den Drocktest passéiert, sollt et och e 24-Stonne Vakuum-Grad-Test no den Designdokumenter ausféieren, an den Drockquote däerf net méi wéi 5% sinn.
(4) Leckagetest. Fir ppb- a ppt-Grad Pipeline Systemer, laut relevante Spezifikatioune, sollt kee Leckage als qualifizéiert ugesi ginn, awer de Leckquantitéitstest gëtt während dem Design benotzt, dat heescht, de Leckbetragstest gëtt nom Loftdichttest gemaach. Den Drock ass den Aarbechtsdrock, an den Drock gëtt fir 24 Stonnen gestoppt. Déi duerchschnëttlech Stonn Leckage ass manner wéi oder gläich wéi 50ppm wéi qualifizéiert. D'Berechnung vum Leckage ass wéi follegt:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
An der Formel:
A-Stonn Leckage (%)
P1-Absolut Drock am Ufank vum Test (Pa)
P2-Absolut Drock um Enn vum Test (Pa)
T1-absolut Temperatur am Ufank vum Test (K)
T2-absolut Temperatur um Enn vum Test (K)
Post Zäit: Dez-12-2023